高分子、規則的な構造に、東工大など、半導体微細加工に応用(日経産業新聞、8/11/02)科学技術創成研究院 化学生命科学研究所;石割文崇助教、福島孝典教授

東京工業大学の石割文崇助教と福島孝典教授らは、物質が自然に集まる自己組織化と呼ぶ現象を利用してポリマー(高分子)を規則正しく並べる技術を開発しました。半導体基板に微細な回路を作製するレジストと呼ぶ材料などに応用できると見込んでいます。これまではポリマーの長さなどを精密に制御するレジストの開発が主流でしたが、新技術では、長さにばらつきがあっても規則的な構造が簡単にできる利点があるとのことです。半導体の微細加工などに役立つとみており、数年以内に強度などをさらに向上させて、技術の確立を目指します。
・プレスリリース:https://www.titech.ac.jp/news/pdf/tokyotechpr20181023_ishiwari_2_pfn8iox8.pdf
・東工大ニュース:https://www.titech.ac.jp/news/2018/042750.html
・福島研究室のご紹介:http://fuku.res.titech.ac.jp/


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